3-6946-04マスフローコントローラー10SLMHe

商品説明

【商品説明】■熱式流量センサーにより、温度補正回路無しで高い流量精度です。■スタート時のフローサージ現象を抑制します（30秒以上のインターバルが必要）。【商品仕様】■型番：C1020-4S2-10L-He■流量（SLM）：10■ガス：He■流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）■再現性：±0.2％FS■流量制御範囲：5～100％FS■流体：気体■使用可能温度：5～50℃　85%RH以下■応答性：6sec■動作圧力範囲：50～300kPa■耐圧：1MPa（G）■外部リークレート：1×10-7Pa･m3/sec（He）以下■接ガス部材質：SUS316・PTFE・フッ素ゴム■表面処理：機械加工仕上げ■継手：1/4in.SWL相当■入出力：アナログ信号（0～5VDC）■バルブ形式：N/O　ノーマルオープン■駆動電源：+15VDC±5%　60mA、－15VDC±5%　150mA■通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）■サイズ：160×33.6×105mm【メーカー】