3-5065-01マスフローコントローラー20SCCM-Air

商品説明

【商品説明】■熱式流量センサーは外部温度影響を受けにくいです。■スタート時のフローサージ現象を抑制します。【商品仕様】■型番：C1005■フルスケール流量-ガス種：20SCCM-Air■ガス種類：Air■流量精度：±2％FS（精度保証範囲15～35℃）■応答性：6sec■流量制御範囲：5～100％FS■入出力：アナログ信号（0～5VDC）■バルブ形式：N/Oノーマルオープン■再現性：±0.2％FS■動作圧力範囲：50～300kPa■耐圧：1MPa（G）■外部リークレート：1×10-7Pa･m3/sec（He）以下■接ガス部材質：SUS316、PTFE、フッ素ゴム■接続：1/4in.SWL相当■電源：＋15VDC±5％　60mA、－15VDC±5％　150mA■通信方式：アナログ0～5VDC（D-Sub9Pinコネクタ）■サイズ：127×25.5×100mm【メーカー】