中央精機　X･Y･Z･回転スリムステージ φ90 TR-907-R1

商品説明

●マイクロ取り付け位置（X・Yステージ）: 逆サイド●移動方向: X・Y・Z・回転4方向●ステージ面: φ90mm●使用マイクロ: XY軸 CMH-15F Z軸 CMH-13F 回転 CEH-13R●移動量: XY軸±7.5mm、Z軸0～10mm 回転 粗動360°微動±5°●移動ガイド: XY軸 V溝とクロスローラ Z軸 V溝レールと鋼球●移動精度: 真直度 XY軸0.003mm 真直度 Z軸 0.008mm 心円度 回転 0.04mm 面振れ 回転 0.02mm●目量: XYZ軸 マイクロメータ式 0.01mm 回転 バーニヤ読み 5インチ●耐荷重: 29.4N（3kgf）●質量: 1.75kg（アルミ合金）●スリムステージ使用の小型のX・Y・Z・回転ステージです。●XY軸には移動ガイドにV溝とクロスローラ（V-CR方式）を、Z軸には移動ガイドにV溝レールと鋼球（V-B方式）を使用しています。●本体の材質にアルミ合金を使用しています。●pdc100933●納期：約1週間